真空機組是由真空泵、各種管路、集成傳感器、真空表、測量裝置、電氣控制系統(tǒng)等一系列的配套真空輔助設(shè)備構(gòu)成，根據(jù)主泵的類型來命名，以真空應(yīng)用范圍分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組。
　　低真空機組一般采選直排大氣型的真空泵，如容積式的往復泵、水環(huán)泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等，低真空機組工作壓力高、排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。

　　中真空機組由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿無油真空泵廣泛使用，羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機組也逐漸增多，適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中，如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。

　　高真空機組工作于分子流狀態(tài)下，工作壓力區(qū)間在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，主泵由擴散泵、分子泵、鈦升華泵為主，如遇低溫冷凝泵無法直接在大氣下工作，需配置前級泵、預(yù)抽泵等，為防止氣壓波動還配置維持泵與儲氣罐等。
　　真空機組系統(tǒng)是對真空機組中關(guān)鍵參數(shù)如"真空度(負壓或增壓)"、"流量"等數(shù)據(jù)進行實時監(jiān)測、自動調(diào)整，如完成"真空保壓"、"自動定時停機、啟動"、定時定量"真空抽濾"等的功能性控制系統(tǒng)稱為真空系統(tǒng)。
　　真空機組與系統(tǒng)作為實現(xiàn)智能自動化的一種手段，已在電子、半導體元件組裝、汽車組裝、自動搬運機械、輕工機械、醫(yī)療機械、印刷機械、塑料制品機械、包裝機械、鍛壓機械、機器人等許多方面得到廣泛的應(yīng)用。
小編：ZiYu